Електронний каталог науково-технічної бібліотеки ІФНТУНГ
539.23 Одержання тонких плівок
Документи:
- Анализ путей развития оборудования для нанесения тонких пленок в вакууме [Текст] : обзоры по электронной технике. Ч.3 : Повышение надежности исполнительных механизмов УВН / С. А. Ашинов, И. Блинов, Е. А. Деулин, Ю.Я. и др. Мелехин. – М. : ЦНИИ "Электроника", 1978. – 39 с. – (Технология, организация производства и оборудование ; вып.14(566)). – 39 к.
- Барил, М. А. Оборудование для наращивания эпитаксиальных слоев кремния из газовой фазы [Текст] / М. А. Барил, Ю. П. Ирошников, М. Ф. Егорова. – М. : Электроника, 1971. – 28 с. : ил. – (Микроэлектроника). – 25-26.
- Берри, Р. Тонкопленочная технология [Текст] / Р. Берри, П. Холл, М. Гаррис ; пер. с англ. Генкина В. И., Гиваргизова Е. И. – М. : Энергия, 1972. – 336 с. : ил., табл. – 329-335.
- Кінетичні особливості нанокристалізації аморфних сплавів FeNbB, легованих рідкісноземельними металами [Текст] / Л. М. Бойчишин, М.-О. М. Даниляк, Б. Я. Котур, Т. М. Міка // Фізика і хімія твердого тіла. – 2017. – T. 18, № 1. – С. 122-128.
- Исследование процесса получения структуры и свойств магнетронных нанослойных FeAl-покрытий [Текст] / Ю. С. Борисов, М. В. Кузнецов, Б. Т. Ткаченко [et al.] // Автоматическая сварка. – 2017. – № 8. – С. 29-36.
- Заславський, Олександр Маркович Закономірності структуроутворення в вакуумних конденсатах оксидів ІІІ та ІV груп і їх бінарних композицій [Текст] : автореф. дис. на здобуття наук. ступеня д-ра хім. наук : спец. 02.00.04 "Фізична хімія" / Заславський Олександр Маркович ; Київ. нац. ун-т ім. Тараса Шевченка. – К., 2006. – 36 с. – 30-33.
- Калинкин, И. П. Эпитаксиальные пленки соединений АII BVI [Текст] / И. П. Калинкин, В. Б. Алесковский, А. В. Симашкевич. – Л. : Ленинг. ун-т, 1978. – 312 с. : ил. – 292-308.
- Ковтун, Назар Анатолійович Структура, оптичні і електричні властивості легованих плівок оксиду цинку, виготовлених методом магнетронного розпилення [Текст] : автореф. дис. на здобуття наук. ступеня канд. техн. наук : спец. 01.04.07 "Фізика твердого тіла" / Ковтун Назар Анатолійович ; НАН України, Ін-т електрофізики і радіац. технологій. – Х., 2005. – 19 с. – 16-17.
- Кучук, Андріан Володимирович Структура та фізичні властивості тонкоплівкових дифузійних бар'єрів W-Ti-N та Ta-Si-N на підкладках арсеніду та нітриду галію [Текст] : автореф. дис. на здобуття наук. ступеня канд. фіз.-мат. наук : спец. 01.04.07 "Фізика твердого тіла" / Кучук Андріан Володимирович ; НАН України, Ін-т фізики напівпровідників ім. В. Є. Лашкарьова. – К., 2006. – 20 с. – 14-16.
- Нестеренко, О. І. Витискування елементів проникнення в перехідній зоні під дифузійними шарами, що зростають [Текст] / О. І. Нестеренко, М. Г. Нестеренко // Фізика і хімія твердого тіла. – 2015. – T. 16, № 1. – С. 202-206.
- Палатник, Л. С. Механизм образования и субструктура конденсированных пленок [Текст] / Л. С. Палатник, М. Я. Фукс, В. М. Косевич. – М. : Наука, 1972. – 320 с. : ил. – 306-316.
- Вплив відхилення від стехіометрії на термоелектричні та механічні властивості BiTe [Текст] / О. І. Рогачова, О. В. Будник, О. С. Водоріз, М. В. Добротворська // Термоелектрика. – 2014. – № 6. – C. 47-57.
- Структура тонких плівок р-Ві2Те3, отриманих термічним випаровуванням у вакуумі із одного джерела [Текст] / О. І. Рогачова, О. В. Будник, О. Г. Федоров [et al.] // Термоелектрика. – 2015. – № 2. – С. 5-15.
- Сейдман, Л. А. Низкотемпературное нанесение пленок нитридов кремния и алюминия реактивным распылением в вакууме ( по данным отечественной и зарубежной печати за 1979-1989гг.) [Текст] : обзоры по электронной технике. Вып.5(1519) / Л. А. Сейдман. – М. : ЦНИИ "Электроника", 1990. – 52 с. – (Технология, организация производства и управления). – 3 р. 80 к.
- Фреик, Д. М. Физика и технология полупроводниковых пленок [Текст] / Д. М. Фреик, М. А. Галущак, Л. И. Межиловская. – Львов : Вища шк., 1988. – 151 с. – 143-150.
- Кристалохімія і термодинаміка атомних дефектів у сполуках АIV BVI [Текст] : монографія / Д. М. Фреїк, В. В. Прокопів, М. О. Галущак [et al.]. – Івано-Франківськ : Плай, 2000. – 164 с. : рис., табл. – 149-161. – ISBN 966-7365-73-8.
- Получение и свойства тонких пленок [Текст] : сб. науч. тр. / Андреев А. Ф., ред. – К. : Наук. думка, 1982. – 132 с. : ил.
- Технология тонких пленок [Текст]. Т. 2 / Майссел Л., Глэнга Р., ред. ; пер. с анг. Елинсон М. И., Смолко Г. Г. – М. : Советское радио, 1977. – 766 с. : ил. – 751-753.
- Технология тонких пленок [Текст] : справочник. Т. 1 / Мойссел Л., Глэнга Р., ред. ; пер. с анг. Елинсон М. И., Смолко Г. Г. – М. : Советское радио, 1977. – 664 с. : ил. – 645-652.
- Фізико-хімічні проблеми напівпровідникового матеріалознавства [Текст] : вибрані наук. пр. (2000-2009 рр.); моногр. зб. Т. 3 : Сполуки А II B VI. Ч. 1 : Кадмій телурид / Фреїк Д. М., [та ін. упоряд.]. – Івано-Франківськ : ІФНТУНГ, 2010. – 394 с. : рис., табл. – ISBN 966-640-192-4.
|