Електронний каталог науково-технічної бібліотеки ІФНТУНГ
Пошук
Відібрані
Формуляр
Опис документа
Науковий архів ІФНТУНГ
Сайт бібліотеки
Сайт ІФНТУНГ
Українська
Русский
English
Увійти
Шифр читача:
Пароль:
Увійти
Відмінити
ERROR
539.23
Б24
Барил, М. А.
Оборудование для наращивания эпитаксиальных слоев кремния из газовой фазы
[Текст] / М. А. Барил, Ю. П. Ирошников, М. Ф. Егорова. – М. : Электроника, 1971. – 28 с. : ил. – (Микроэлектроника). – 25-26.
УДК 539.23.005(047)
Замовити
Додати до списку
Примірники
Місце збереження
Кількість
В наявностi
К/сх - Книгосховище
1
1
Теми документа
УДК/5 Математика. Природничi науки/53 Фiзика/539 Фізична природа матерії/539.2 Властивості та структура молекулярних систем, див. також 548.1/539.23 Одержання тонких плівок
Статистика використання: Видач: 0
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'
