Ковтун Н. А. Структура, оптичні і електричні властивості легованих плівок оксиду цинку, виготовлених методами магнетронного розпилення. Рукопис Дисертація на здобуття наукового ступеню кандидата технічних наук за спеціальністю 01.04.07 - фізика твердого тіла. Інститут електрофізики і радіаційних технологій НАН України, м. Харків, 2005 р. Показано, що досягнення оптимальних оптоелектричних властивостей для плівок ZnO:In та ZnO:Al, отриманих реактивним магнетронним розпиленням на постійному струмі, відбувається завдяки різним фізичним механізмам, що пов'язано з різними атомарними радіусами алюмінію та індію. Встановлено, що при високочастотному нереактивному магнетронному розпиленні при збільшенні робочого тиску спостерігається нетрадиційна зміна фізичних закономірностей впливу товщини плівок ZnO:Al на значення концентрації основних носіїв заряду. Уточнені та обгрунтовані фізичні механізми впливу на оптоелектричні властивості плівок ZnO:Al концентрації легуючої фази у складі мішені при нереактивному магнетронному розпиленні і потужності магнетрона при високочастотному розпиленні. Ключові слова: плівки оксиду цинку, метод магнетронного розпилення, поверхневий електроопір, коефіцієнт пропускання, коефіцієнт якості, структура, фізичні механізми впливу технологічних параметрів на оптоелктричні властивості плівок.