|
| 539.23 | | С28 |
Сейдман, Л. А.
Низкотемпературное нанесение пленок нитридов кремния и алюминия реактивным распылением в вакууме ( по данным отечественной и зарубежной печати за 1979-1989гг.) [Текст] : обзоры по электронной технике. Вып.5(1519) / Л. А. Сейдман. – М. : ЦНИИ "Электроника", 1990. – 52 с. – (Технология, организация производства и управления). – 3 р. 80 к.
|
| |
|
