|
| 539.23(047) | | А64 |
Анализ путей развития оборудования для нанесения тонких пленок в вакууме [Текст] : обзоры по электронной технике. Ч.3 : Повышение надежности исполнительных механизмов УВН / С. А. Ашинов, И. Блинов, Е. А. Деулин, Ю.Я. и др. Мелехин. – М. : ЦНИИ "Электроника", 1978. – 39 с. – (Технология, организация производства и оборудование ; вып.14(566)). – 39 к.
|
| |
|
