Електронний каталог науково-технічної бібліотеки ІФНТУНГ

• Класифікатори
• 77 Фотографiя, техніка кiнематографiї та подiбнi процеси

776 Фотолітографія. Фотографічні процеси виготовлення друкарських форм для плоского друку

Документи:

• Электронная литография и ее применение в микроэлектронике (материалы Всесоюзной научно-технической конференции, 23-24 октября 1975 г., г. Москва) [Текст] / Сахаров Г. Х, ред. – М. : ЦНИИ "Электроника", 1976. – 53 с. : ил. – (Микроэлектроника).