|
| 621.382 | | Э-45 |
Электронная литография и ее применение в микроэлектронике (материалы Всесоюзной научно-технической конференции, 23-24 октября 1975 г., г. Москва) [Текст] / Сахаров Г. Х, ред. – М. : ЦНИИ "Электроника", 1976. – 53 с. : ил. – (Микроэлектроника).
|
| УДК 621.382-181.48(082)+776(082)+621.3.032.269.1(082) |
| |
|
