|
| | |
Толстенок, О. А. Конструктивные и технологические особенности измерительно-преобразовательных микроэлектромеханических систем на основе кремниевых датчиков [Текст] / О. А. Толстенок, Т. А. Холомина // Измерительная техника. – 2004. – № 8. – С. 66-71.
|
| |
|