|
| 621.382 | | Т38 |
Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники [Текст] : учеб. пособие: в 10 кн. Кн. 3 : Полупроводниковые приборы и интегральные микросхемы / Горбунов Ю. И., Козырь И. Я., авт. – М. : Высшая шк., 1989. – 143 с.
|
| УДК 621.382.2.3.002(075.3)+621.382-181.48.002(075.3) |
| |
|
