|
| 539.4 | | |
Peng, Z. I.
Finishing of Rough Sidewalls of a Silicon-on-Insulator Nano-Optical Waveguide Using Lazer Surface Melting [Текст] = Обробка нерівних стінок "кремній-на-ізоляторі"нанооптичного хвилеводу з використанням лазерного поверхневого оплавлення / Z. I. Peng, C. G. Zhou
// Проблеми міцності. – 2021. – № 4. – P. 132-139.
|
| |
|
