|
| 533.9 | | |
Development of Technology for Vacuum Surface Conditioning by RF Plasma Discharge Combined with DC Discharge [Текст] = Розробка технології чищення вакуумних поверхонь плазмою високочастотного розряду в комбінації з розрядом постійного струму / Yu. V. Kovtun, G. P. Glazunov, V. E. Moiseenko [et al.]
// Science and innovation. – 2021. – Vol. 17, № 4. – P. 33-43.
|
| |
|
