|
| 621.382.002 | | Щ32 |
Щеглова, В. В.
О новых диэлектрических материалах в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем [Текст] / В. В. Щеглова, В. И. Мякиненков. – М. : ЦНИИ "Электроника", 1971. – 88 с. : ил., табл. – (Полупроводниковые приборы). – 76-86.
|
| |
|
