|
| 621.382 | | Р71 |
Ронская, Л. Ф.
Очистка поверхности полупроводниковых пластин в производстве интегральных схем [Текст] : обзор / Л. Ф. Ронская, Е. А. Бродянский, В. Д. Скубриев. – М. : ЦНИИ "Электроника", 1971. – 126 с. : ил., табл. – (Микроэлектроника). – 119-123.
|
| |
|
