|
| 621.382 | | Р17 |
Разработка и опыт эксплуатации комплексов оборудования для изготовления интегральных схем (материалы Всесоюзной научно-технической конференции, 21-22 октября 1975 г., г. Москва) [Текст] : сборник / Блинов И. Г., ред. – М. : ЦНИИ "Электроника", 1976. – 40 с. : ил. – (Микроэлектроника).
|
| |
|
