|
| 621.382.2/.3 | | П38 |
Пленки окиси алюминия в производстве полупроводниковых приборов [Текст] : обзор / З. П. Вишнякова, З. В. Павлова, Н. А. Сенатова, Г. В. Виноградов. – М. : ЦНИИ "Электроника", 1971. – 56 с. : ил., табл. – (Полупроводниковые приборы). – 52-55.
|
| УДК 621.382.2/.3:539.216.2(048) |
| |
|
