|
| 621.382 | | К26 |
Карпман, И. М.
Лазерная термолитография в производстве интегральных схем [Текст] / И. М. Карпман, М. Н. Либенсон, Е. Б. Яковлев. – Л. : ЛДНТП, 1981. – 27 с. : ил. – (Прогрессивная технология обработки конструкционных материалов и изделий (механические, электрофизические и другие методы обработки материалов, сварка, защитные покрытия)). – 25.
|
| УДК 621.382-181.48+621.9.048.7 |
| |
|
