|
| 621.382 | | К21 |
Карбань, В. И.
Обработка монокристаллов в микроэлектронике [Текст] / В. И. Карбань, Ю. И. Борзаков. – М. : Радио и связь, 1988. – 104 с. : ил., табл. – (Массовая библиотека инженера "Электроника"). – 96-102.
|
| УДК 621.382-181.48:621.315.592:548.55+548.55 |
| |
|
