Опис документа

Електронний каталог науково-технічної бібліотеки ІФНТУНГ

Формуляр

Опис документа

621.382

Д12

Данилин, Б. С.
Вакуумная техника в производстве интегральных схем [Текст] / Б. С. Данилин. – М. : Энергия, 1972. – 256 с. : ил., табл. – 245-254.

УДК 621.382

Примірники

Місце збереження Кількість В наявностi

К/сх - Книгосховище 2 2

Теми документа

УДК/6 Прикладнi науки. Медицина. Техніка/62 Машинобудування.Технiка в цiлому/621 Загальне машинобудування. Ядерна техніка. Електротехнiка. Машинобудування в цілому/621.3 Електрика.Електротехнiка/621.38 Електронiка. Електронні лампи. Фотоелектроніка. Рентгенотехніка. Прискорювачі елементарних частинок/621.382 Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи

Статистика використання: Видач: 0

Український Фондовий Дім

Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'