Опис документа

Електронний каталог науково-технічної бібліотеки ІФНТУНГ

Формуляр

Опис документа

621.382

В26

Вейко, В. П.
Опыт внедрения лазерной обработки тонких пленок в микроэлектронике [Текст] / В. П. Вейко. – Л. : ЛДНТП, 1977. – 31 с. : ил. – 29.

УДК 621.382-181.48

Примірники

Місце збереження Кількість В наявностi

К/сх - Книгосховище 1 1

Теми документа

УДК/6 Прикладнi науки. Медицина. Техніка/62 Машинобудування.Технiка в цiлому/621 Загальне машинобудування. Ядерна техніка. Електротехнiка. Машинобудування в цілому/621.3 Електрика.Електротехнiка/621.38 Електронiка. Електронні лампи. Фотоелектроніка. Рентгенотехніка. Прискорювачі елементарних частинок/621.382 Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи

Статистика використання: Видач: 0

Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'