|
621.315.592.2 | О-65 |
Орион, Б. В. Газовая полировка кремния [Текст] : обзор / Б. В. Орион, И. М. Скворцов, Л. В. Кожитов. – М. : Электроника, 1971. – 24 с. : ил., табл. – (Полупроводниковые приборы). – 19-21.
|
| УДК 621.315.592.2:546.28(047)+621.923.7(047) |
| |
|