|
621.382 | К60 |
Колешко, В. М. Поликристаллические пленки полупроводников в микроэлектронике [Текст] / В. М. Колешко, А. А. Ковалевский. – Минск : Наука и техника, 1978. – 343 с. : ил.102, табл.29. – 320-340. – 2 р. 40 к.
|
| УДК 621.382-181.48:539.216.2:546.28 |
| |
|