|
| 621.382 | | Т38 |
Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники [Текст] : учеб. пособие: в 10 кн. Кн. 1 : Общая технология / И. Я. Козырь, Ю. И. Горбунов, Ю. С. Чернозубов, А. С. Пономарев. – М. : Высшая шк., 1989. – 223 с.
|
| УДК 621.382.2/.3.002(075.3)+621.382-181.48.002(075.3) |
| |
|
