Лабораторний практикум містить методичні рекомендації для проведення лабораторних занять з дисципліни «Технологічні основи мікроелектроніки». Розроблений у відповідності з робочою програмою навчальної дисципліни, чинним навчальним планом підготовки фахівців за спеціальністю «Прилади та системи неруйнівного контролю». Може бути використаний студентами денної та заочної форм навчання. ЗМІСТ Загальні методичні вказівки .....................................................................4 Лабораторна робота №1 Послідовність розроблення гібридних інтегральних мікросхем ............................................................................5 Лабораторна робота №2 Розрахунок плівкових резисторів...................14 Лабораторна робота №3 Процес дифузії при виготовленні виробів мікроелектроніки .......................................................................................24 Лабораторна робота №4 Розрахунок плівкових конденсатор