|
| 544.2 | | О-67 |
Ормонт, Б. Ф.
Создание управляющих микроприборов физико-химическими методами. (Прецизионные физико-химические процессы в производстве микроэлектронной аппаратуры) [Текст] / Б. Ф. Ормонт, В. И. Смирнов. – М. : Знание, 1977. – 64 с. – (Новое в жизни, науке, технике. Химия ; №4.). – 11 к.
|
| |
|
