Єгоров Сергій Геннадійович. Вплив характеристик розплаву на умови кристалізації та властивості вирощуваних кристалів кремнію. - Рукопис. Дисертація на здобуття наукового ступеня кандидата технічних наук за фахом 05.16.03 - "Металургія кольорових металів". - Запорізька державна інженерна академія, Запоріжжя, 2005. Проведено дослідження впливу конвекційних потоків в розплаві на розподіл фосфору та кисню в вирощуваних монокристанах кремнію. Встановлено, що в розплавленій зоні, яка утворюється в методі безтигельної зонної плавки, розвиваються наступні види конвекції: теплова, термокапілярна, відцентрова та електродинамічна. При взаємодії перерахованих видів конвекцій переважаючою стає теплова конвекція, якщо частота обертання монокристалу менше 50 мін-1. При частоті обертання монокристалу більше 50 мін-1 переважаючою стає відцентрова конвекція. Під впливом конвекції відбувається перемішування розплаву, що впливає на розподіл домішок як в об'ємі розплаву, так і поблизу фронту кристалізації. Крім того, перемішування розплаву також змінює товщину дифузійного шару на фронті кристалізації монокристалу. Нерівномірний розподіл домішок в розплаві та різна товщина дифузійного шару приводять до неоднакового надходження домішок в монокристал. Одержана залежність товщини дифузійного шару від швидкості руху потоків розплаву, яка дозволила пояснити різку зміну у властивостях монокристалу при збільшенні швидкості його обертання. За наслідками проведених досліджень було запропоновано метод, який дозволяє вирощувати високочисті монокристали кремнію з високим питомим електричним опором (>3000 Ом-см). Метод заснований на зворотно-поступальному русі початкового стрижня і не вимагає значних змін в стандартних промислових установках для вирощування монокристалів. КЛЮЧОВІ СЛОВА Безтигельна зонна плавка; теплова, термокапілярна, відцентрова та електродинамічна конвекції; товщина дифузійного шару; питомий електричний опір; зворотно-поступальний рух стрижня.