Мельник K.I. Гранична роздільна здатність зондофор-муючих систем на базі параметричних мультиплетів квадру-польних лінз. - Рукопис. Дисертація на здобуття наукового ступеня кандидата фізико-математичних наук зі спеціальності 01.04.20- фізика пучків заряджених частинок. - Інститут прикладної фізики НАН України, Суми, 2007. Дисертаційну роботу присвячено розв'язанню задачі підвищення просторової роздільної здатності іонних мікрозондів з енергією від одного до 10 МеВ та струмом близько 100 пкА. Розглянуто процеси формування іонних зондів, подальшого розвитку отримала модель, що описує нелінійну динаміку пучка заряджених частинок у зондоформуючих системах магнітних і електростатичних квадрупольних лінз і враховує всі власні і паразитні аберації до третього порядку включно. Визначено граничну роздільну здатність мультиплетів магнітних квадрупольних лінз із урахуванням паразитних компонент поля в наближенні рівномірного розподілу частинок пучка в початковому фазовому об'ємі. Вперше розглянуто вплив збільшення числа лінз на роздільну здатність. Визначено гранично допустимі паразитні компоненти поля магнітних квадрупольних лінз, коли їх внесок в уширення пучка на мішені є значно меншим від впливу власних аберацій, що дало можливість встановити вимоги на допуски виготовлення магнітопроводів лінз. Вперше показано наявність оптимуму робочої відстані та відстані між прямокутними об'єктним та кутовим коліматорами, коли система формує пучок з максимальною густиною струму. Ключові слова: мікрозонд, зондоформуюча система, роздільна здатність, гранична роздільна здатність, параметричний мультиплет, аксептанс.