|
| 531.787.2 | | |
Белозубов, Е. М.
Микроэлектромеханические системы тонкопленочных датчиков давления для высоких температур и виброускорений [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова, В. А. Васильев
// Автоматизация и современные технологии. – 2008. – № 10. – С.27-30.
|
| |
|
