|
| 621.382 | | Г48 |
Гимпельсон, В. Д.
Современное состояние и тенденции развития тонкопленочной технологии [Текст] : обзор. информ. Вып. 6 / В. Д. Гимпельсон, Л. А. Наумова. – М. : ЦНИИТЭИприборостроения, 1979. – 48 с. – (Приборы, средства автом. и системы управления. Экономика и технология приборостроения ; ТС-9).
|
| |
|
