Електронний каталог науково-технічної бібліотеки ІФНТУНГ
Пошук
Відібрані
Формуляр
Опис документа
Науковий архів ІФНТУНГ
Сайт бібліотеки
Сайт ІФНТУНГ
Українська
Русский
English
Увійти
Шифр читача:
Пароль:
Увійти
Відмінити
ERROR
621.382
Ч-56
Чехович, Е. К.
Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники
[Текст] / Е. К. Чехович. – Минск : Наука и техника, 1989. – 213 с.
УДК 621.382-181.48:681.786.23/24
Замовити
Додати до списку
Примірники
Місце збереження
Кількість
В наявностi
АбНН - Аб. наук. та навч. л-ри
1
1
К/сх - Книгосховище
2
2
Теми документа
УДК/6 Прикладнi науки. Медицина. Техніка/62 Машинобудування.Технiка в цiлому/621 Загальне машинобудування. Ядерна техніка. Електротехнiка. Машинобудування в цілому/621.3 Електрика.Електротехнiка/621.38 Електронiка. Електронні лампи. Фотоелектроніка. Рентгенотехніка. Прискорювачі елементарних частинок/621.382 Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи
Статистика використання: Видач: 0
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'
