|
| 621.382 | | Т38 |
Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники [Текст] : учеб. пособие: в 10 кн. Кн. 6 : Нанесение пленок в вакууме / Минайчев В. Е., ред. – М. : Высшая шк., 1989. – 110 с.
|
| УДК 621.382.2/.3.002(075.3)+621.382-181.48.002(075.3) |
| |
|
