|
| 621.382 | | Е91 |
Ефимов, И. Е.
Микроэлектроника: Физические и технологические основы, надежность [Текст] : учеб. пособие / И. Е. Ефимов, И. Я. Козырь, Ю. И. Горбунов. – 2-е изд., перераб. и доп. – М. : Высшая шк., 1986. – 463 с. : ил.
|
| УДК 621.382-181.48(075.8) |
| |
|
