Р82 |
Рубіш, В. В. Модифікування халькогенідних склоподібних напівпровідників на основі миш'яку і сурми [Текст] : автореф. дис. на здобуття наук. ступеня канд. фіз.-мат. наук : спец. 01.04.10 "Фізика напівпровідників і діелектриків" / Рубіш Василь Васильович ; Ужгород. нац. ун-т. – Ужгород, 2005. – 19 с. – 14-16.
Рубіш В.В. Модифікування халькогенідних склоподібних напівпровідників на основі миш'яку і сурми. - Рукопис.
Дисертація на здобуття наукового ступеня кандидата фізико-математичних наук за спеціальністю 01.04.10- фізика напівпровідників та діелектриків. - Ужгородський національний університет, Ужгород, 2005.
Дисертаційна робота присвячена дослідженню структури і властивостей стекол та плівок в системах As(Sb)-S(Se) та їх трансформації в залежності від хімічного складу, умов отримання та під дією опромінення і відпалу, а також можливості використання цих матеріалів в якості неорганічних резистів з високою роздільною здатністю для голографії, лазерної та оптичної літографії.
Проведено розрахунок критичних швидкостей охолодження розплавів, визначено оптимальні режими синтезу стекол та одержання плівок на їх основі. Досліджено фізико-хімічні та кристалізаційні параметри стекол, встановлено взаємозв'язок особливостей композиційних залежностей цих параметрів з кінетичними діаграмами стану відповідних систем та структурою стекол. Показано, що всі досліджені скла і плівки мають мікрогетерогенну будову. Для більшості вивчених матеріалів в системах А-В (A-As, Sb; B-S, Se) характерна двовимірна сітчаста структура на основі пірамідальних угрупувань АВ3/2 . Містить вона і значну кількість структурних фрагментів з гомополярними зв'язками А-А і В-В, причому їх кількість в плівках набагато більша, ніж в склах ідентичних складів. Досліджено вплив опромінення та відпалу на структуру і оптичні властивості плівок As40S60-хSех (0? х ? 20). Показано, що їх дія призводить до полімеризації молекулярних груп As4S(Se)4 і S(Se)n У матриці плівки, яка супроводжується зсувом краю поглинання в довгохвильову область і зростанням показника заломлення. Встановлена роль у цьому процесі структурних дефектів над- і недокоординованих атомів As і S(Se). Показана залежність структури і властивостей досліджених матеріалів від умов модифікування.
Встановлено, що експонування плівок селенідів сурми сфокусованим лазерним променем призводить до їх кристалізації. Вивчені процеси аморфізації плівок і вплив термовідпалу на структуру і оптичні властивості плівок в системах Sb-Se і In-Sb-Se. Показана можливість реверсивного запису інформації на цих плівках.
На основі неорганічних резистів As40S60-хSех (0? x ? 20) одержані голографічні дифракційні ґратки з просторовою частотою 900-3600 мм-1, глибиною модуляції 20 - 40% і дифракційною ефективністю 70 - 90 % при використані поляризованого світла та виготовлені оригінали оптичних дисків з розмірами пітів 0,2 - 0,3 мкм (? = 0,476 - 0,532 мкм).
Ключові слова: халькогенідні стекла, модифікування, структура, фотоструктурні перетворення, оптичні параметри, неорганічні резисти.
|