Пеньков О.В. Міжшарове перемішування в багатошарових нанорозмірних покриттях на основі молібдену та кремнію при опроміненні іонами гелію та нагріві. - Рукопис. Дисертація на здобуття наукового ступеня кандидата фізико-математичних наук за спеціальністю 01.04.07 - фізика твердого тіла. -Інститут електрофізики і радіаційних технологій НАН України, Харків, 2006. Дисертація присвячена встановленню механізмів атомного перемішування у багатошарових нанорозмірних плівкових композиціях на основі кремнію за іонно-променевої, термічної та радіаційної дії; дослідженню закономірностей іонно-променевого перемішування і дифузії у багатошаровій плівковій композиції (БПК) з бар'єрними шарами Досліджено процеси іонно-променевого перемішування в БПК Mo/Si при опроміненні іонами Не+ з енергією 40 кеВ і дозами до 4·1016 см-2. Вивчено вплив температури на іонно-променеве перемішування БПК. Встановлені інтервали слабкої і сильної залежності перемішування від температури. Визначено енергію активації процесів перемішування для цих інтервалів. Вивчена роль вуглецевих бар'єрів в ослабленні перемішування як при термічній, так і при іонно-променевій дії. Досліджена дифузійна взаємодія в БПК Mo/Si в інтервалі температур 275 - 450 °С. Ключові слова: багатошарова плівкова композиція іонно-променеве перемішування, дифузія, радіаційна стійкість, дифузійні бар'єри.