|
| 621.654 | | |
Совершенствование методики измерения геометрических размеров в субмикронном диапазоне на основе компьютерного моделирования дифракционного спектра [Текст] / Д. С. Беневоленский, Н. Л. Истомина, А. А. Лисов, М. В. Спыну
// Метрология. – 2007. – № 11. – С. 32-39.
|
| |
|
