К93 |
Куракін, А. М. Радіаційні ефекти в польових транзисторах на базі гетеропереходів AlGaN/GaN [Текст] : автореф. дис. на здобуття наук. ступеня канд. техн. наук : спец. 05.27.06 "Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки" / Куракін Андрій Михайлович ; НАН України, Ін-т фізики напівпровідників ім. В. Є. Лашкарьова. – К., 2006. – 19 с. – 14-16.
Куракін А.М. Радіаційні ефекти в польових транзисторах на базі гетеропереходів AlGaN/GaN. - Рукопис.
Дисертація на здобуття наукового ступеня кандидата технічних наук за спеціальністю 05.27.06 - технологія, обладнання та виробництво електронної техніки. Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України, Київ, 2005.
В роботі представлені результати дослідження дії у-радіації на параметри та характеристики приладових структур на базі гетеропереходу AlGaN/GaN. За експериментальними вольт-амперними характеристиками детально проаналізовано деградацію основних операційних параметрів (струмів насичення, напруги відсічки, крутизни) транзисторів з високою рухливістю носіїв заряду в каналі (НЕМТ), з шириною каналу від 100 до 400 мкм і довжиною затвору від 0.15 до 0.35 мкм, під впливом доз опромінення до 2x108 рад. Розглянуто процеси, що відбуваються під впливом радіації до загальної дози 2x109 рад в контактній металізації Шотткі контактів Au-Ni-GaN і Au-ZrB2-AlGaN/GaN за даними проведених структурних досліджень. Не дивлячись на прогнозовану високу стійкість приладів на базі матеріалів нітридної групи, встановлено значну (до 40%) деградацію основних параметрів транзисторів, виявлено складний характер стимульованої деградації НЕМТ (спостережено залежність ефектів від геометричних розмірів транзисторних структур і робочих умов). Фізичні причини радіаційного старіння тестових структур проаналізовано з урахуванням можливої релаксації механічних напружень бар'єрного шару AlGaN, а також стимульованих міжфазних реакцій і зернограничної дифузії в контактній металізації.
Ключові слова: нітрид галію, радіаційна стійкість, НЕМТ, гетероструктурні транзистори, контакти Шотткі, омічні контакти, l/f-шум.
|