Електронний каталог науково-технічної бібліотеки ІФНТУНГ
Пошук
Відібрані
Формуляр
Опис документа
Науковий архів ІФНТУНГ
Сайт бібліотеки
Сайт ІФНТУНГ
Українська
Русский
English
Увійти
Шифр читача:
Пароль:
Увійти
Відмінити
ERROR
66
Р19
Раков, Э. Г.
Химия в микроэлектронике (химическое осаждение из газовой фазы)
[Текст] / Э. Г. Раков, В. В. Тесленко. – М. : Знание, 1988. – 48 с. – (Новое в жизни, науке, технике. Химия). – 11 к.
УДК 66:621.382-181.48+621.382-181.48
Замовити
Додати до списку
Примірники
Місце збереження
Кількість
В наявностi
К/сх - Книгосховище
1
1
Теми документа
УДК/6 Прикладнi науки. Медицина. Техніка/66 Хімічна технологія. Хімічна промисловість і споріднені галузі
УДК/6 Прикладнi науки. Медицина. Техніка/62 Машинобудування.Технiка в цiлому/621 Загальне машинобудування. Ядерна техніка. Електротехнiка. Машинобудування в цілому/621.3 Електрика.Електротехнiка/621.38 Електронiка. Електронні лампи. Фотоелектроніка. Рентгенотехніка. Прискорювачі елементарних частинок/621.382 Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи
Спеціальність/Електроенергетика, електротехніка та електромеханіка
Статистика використання: Видач: 0
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'