Коломзаров Ю.В. Елементи технології оптоелектронних приладів на основі нематичних та холестерико-нематичних рідкокристалічних сумішей. - Рукопис Дисертація на здобуття наукового ступеня кандидата технічних наук за спеціальністю 05.27.06 - технологія, обладнання та виробництво електронної техніки. - Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є.Лашкарьова НАН України. - Київ, 2005. Дисертація присвячена розробці фізико-технологічних ігринципів та елементів технології створення пристроїв сучасної рідкокристалічної оптоелектроніки на основі електрооптичних ефектів у нематичних рідких кристалах та Х-Н рідкокристалічних сумішах. Був розроблений метод скісного реактивного катодного розпорошення комбінованих крем-ніево-індієвих мішеней у плазмі тліючого розряду постійного струму для нанесення мікрорельєфу, який орієнтує молекули рідкого кристалу. Встановлено, що середня висота орієнтуючого мікрорельєфу, який забезпечує утворення бездефектних гомогенних та твіст-текстур нематичних рідких кристалів, становить 1 - 3 нм. З'ясовано, що у формуванні орієнтуючого мікрорельєфу основними є два процеси: нанесення оксидів кремнію та індію, які синтезуються шляхом окислення атомів цих матеріалів, вибитих з комбінованої індій-кремнієвої мішені іонами Аr+, а також іонна обробка (іонне бомбардування) нанесеного шару іонами О-. Створений технологічний процес виготовлення рідкокристалічних оптичних затворів для захисних автоматичних зварювальних світлофільтрів. Застосування орієнтуючого мікрорельєфу, нанесеного розробленим методом по оптимальним технологічним режимам, дозволило виготовити рідкокристалічні оптичні затвори з високими значеннями контрастного відношення (не менше 340:1 на довжині хвилі 550 нм) та часом включення 1,2 - 1,5 мс. Розроблені технології нанесення тонкоплівкових покриттів (прозорі струмопровідні шари, багатошарові металічні та діелектричні покриття) на склокерамічні матеріали з ультранизь-ким значенням коефіцієнту термічного розширення дозволили вперше в Україні створити на основі таких матеріалів високонадійні твіст-нематичні рідкокристалічні екрани для авіаційних модулів індикації. Розроблені технологічні методи нанесення покриттів, які орієнтують Х-Н суміші, утворюючи чотири різні текстури: планарна текстура, текстура типу "віяло", нахилена текстура та конусна текстура; досліджені їх оптичні властивості. Вперше показано, що найбільш широкі кути огляду має текстура типу "віяло", яка характеризується кутом розкиду напрямку осей холестеричних спіралей у діапазоні ±10 градусів відносно нормалі до орієнтуючої поверхні. Текстура типу "віяло" є найбільш придатною для створення засобів відображення інформації колективного та індивідуального користування на основі Х-Н сумішей. Вперше досліджені залежності довжини хвилі максимуму селективного відбивання світла Х-Н сумішами від концентрації холестеричної домішки ХД-1 у матриці нематичного рідкого кристалу ЖК1289 та створені суміші з максимумами селективного відбивання світла у синій (51% ХД-1, ?mах=510 нм), зеленій (38% ХД-1, ?mах =550 нм) та червоній (23% ХД-1, ?mах =650 нм) областях спектру. Були розроблені конструкції та технологічні процеси виготовлення монохромних та багатокольорових рідкокристалічних Х-Н екранів модулів для табло колективного користування типу "інформаційна стрічка" та "панно", а також високоінформативних пасивно-матричних дисплеїв, які забезпечують відображення інформації при рекордно широких кутах огляду до ±80° відносно нормалі до площини екрану. Ключові слова: реактивне катодне запорошення, склокерамічний матеріал, рідкокристалічний оптичний затвор, твіст-нематичний рідкокристалічний екран, холестерико-нематична суміш.