Єфанов О.М. Динамічна дифракція Х-променів в багатошарових структурах. - Рукопис. Дисертація па здобуття наукового ступеня, кандидата фізико-матемагпичпих наук за спеціальністю 01.04-07 - фізика твердого тіла. Інститут, фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України, Київ, 2006. У роботі проведено комплексні дослідження механізмів дифракції Х-промснів у багатошарових структурах. Розроблено метод обрахунку багато-хвильової дифракції у планарних багатошарових структурах та показано його практичне застосування для інтерпретації експериментальних даних. Метод базується на розв'язку рівнянь Максвелла для плоских Х-хвиль без спрощень і може бути застосованим для довільної геометрії дифракції (відбиття чи проходження) та довільного кутового діапазону. Наведено приклади застосування методу для аналізу експериментальних кривих дифракційного відбиття (КДВ), кривих дзеркального відбиття, репіпгерів-ського сканування та карт оберненого простору. Розв'язано дисперсійне рівняння для 2-х, 3-х, 4-х та N-хвильової дифракції та побудовано дисперсійні поверхні для цих випадків. При розв'язку враховано ефект поглинання та різні геометрії дифракції. Вказано на причини та шляхи уникнення проблем чисельних розрахунків у випадку багатохвильової дифракції. Проаналізовано вплив на КДВ градієнту складу на межі шарів. Показано, що найбільш адекватно криві відбиття для зразків, що досліджувались, описуються гіперболічним законом градієнта на границі шарів InGaAs/GaAs. Застосовано методи автофітування для аналізу КДВ. Запропоновано методику контролю структури шарів шляхом вимірюваннях азимутальних залежностей КДВ, що дозволяє визначити параметри анізотропної деформації кристалічної ґратки. Ключові, слова: дисперсійна поверхня, дифракція Х-променів, багатошарові структури, квантово-розмірні шари, багатохвильова дифракція, деформація, надґратки.