|
| 621.382.026.002 | | О-22 |
Оборудование для изготовления силовых полупроводникових приборов на кремниевых пластинах диаметром 100мм и более [Текст] : обзор. информ. Вып. 24 / П. С. Агаларзаде, В. П. Бойных, Б. Г. Бородач, О.И. и др. Бротиковский. – М. : Информэлектро, 1989. – 70 с. – (Электротехническая промышленность. Силовая преобразовательная техника ; Серия 05). – ДСП №156. – 60 к.
|
| УДК 621.382.026.002:546.28(048) |
| |
|
