Возний В.І. Плазмові високочастотні джерела іонів для ядерного мікрозонда. - Рукопис. Дисертація на здобуття наукового ступеня кандидата фізико-математичних наук за спеціальністю 01.04.01-фізика приладів, елементів і систем. -Сумський державний університет. Суми. 2006. Дисертація присвячена проблемі одержання високояскравих іонних пучків з малим енергетичним розкидом для підвищення роздільної здатності ядерного мікрозонда. Для вимірювання плазмових параметрів ВЧ-джерел і фазових, енергетичних і масових характеристик екстрагованих пучків створена діагностична установка. Проведено комплексне дослідження ВЧ-джерела іонів без зовнішнього магнітного поля. На основі трансформаторної та глобальної моделей розряду розраховано густину аргонової плазми та електронну температуру залежно від ВЧ-потужності, тиску газу та розмірів розряду. Виконано НВЧ інтерферометричне вимірювання густини плазми ВЧ-джерела. При 300 Вт ВЧ-потужності густина іонного струму досягає 75 мА/см2, виміряна яскравість дорівнює В1?20 А/рад2м2еВ. Проведено діагностику іонного пучка (гелій, аргон), екстрагованого з геліконного джерела, що знаходиться у зовнішньому магнітному полі. Густина іонного струму досягає 130 мА/см2, яскравість пучка- В1?110±10 А/рад2м2еВ. Підвищення густини плазми внаслідок збудження геліконних хвиль і хвиль Трайвелпіс-Гоулда в плазмі джерела пояснює високі значення густини іонного струму і яскравосіі екстрагованого пучка. Для одержання іонних пучків з малим енергетичним розкидом розроблено мультикаспове ВЧ-джерело іонів. Виміряно енергетичний розкид пучка іонів гелію, який дорівнює ?Е=8±1 еВ при 200 Вт ВЧ-потужності. Ключові слова: ядерний мікрозонд, високочастотне джерело іонів, мультикаспове джерело іонів, яскравість, енергетичний розкид.