В65 |
Войтович, В. В. Вплив ізовалентної домішки свинцю на термічне та радіаційне дефектоутворення в кремнії [Текст] : автореф. дис. на здобуття наук. ступеня канд. фіз.-мат. наук : спец. 01.04.07 "Фізика твердого тіла" / Войтович Василь Васильович ; НАН України, Ін-т фізики. – К., 2005. – 20 с. – 18.
Войтович В.В. Вплив ізовалентної домішки свинцю на термічне та радіаційне дефектоутворення в кремнії - Рукопис.
Дисертація на здобуття наукового ступеня кандидата фізико-математичних наук за спеціальністю 01.04.07 - фізика твердого тіла. - Інститут фізики Національної Академії Наук України, Київ, 2005.
Дисертацію присвячено експериментальним дослідженням впливу свинцю на структурні, електричні та рекомбінаційні параметри n-Si і термічне та радіаційне дефектоутворення в ньому.
Виявлено, що свинець в кремнії має гетеруючі властивості, зменшуючи концентрацію атомарного вуглецю, а також концентрацію домішок, які визначають величину часу життя нерівноважних носіїв заряду.
Атоми Рb є електрично нейтральними в Si і не погіршують його кристалічної будови.
Причиною спостережуваних ефектів може бути зменшення внутрішніх деформаційних напружень в кристалі внаслідок скорельованого розташування атомів Рb і С в процесі кристалізації Si при витягуванні із розплаву.
Встановлено, що легування кремнію свинцем зменшує ефективність введення радіаційних дефектів (VO на 20-25% и CiCS в 7-13 раз) при електронному 1 МеВ опроміненні.
Показано також, що свинець переводить значну частину атомів вуглецю у оптично неактивний стан, тим самим виключаючи їх із процесу утворення вуглецевих радіаційних дефектів CiCS. Встановлено, що при загальній концентрації свинцю ~ 1018 см-3, яку визначено за допомогою вторинної іонної масспектрометрії, концентрація атомарного свинцю в даних кристалах не перевищує 1017 см-3.
Досліджено вплив свинцю на кінетику генерації термодонорів і преципітацію кисню в n-Si. Встановлено, що свинець зменшує темп генерації ТД-І (Т=450 °С) і частково нейтралізує вплив вуглецю на процеси утворення ТД-І, ТД-ІІ (Т=650 °С) і розпад пересиченого твердого розчину кисню (Т=650 °С). Виявлено, що попередній низькотемпературний відпал (450+510°С) нівелює відмінності у кінетиці генерації високотемпературних термодонорів і преципітації кисню для легованого свинцем і контрольного матеріалу.
|