|
| 621.382 | | Л55 |
Лизин, А. И.
Оптимизация технологических процессов изготовления интегральных микросхем [Текст] : обзор. информ. Вып. 5 / А. И. Лизин, В. В. Демиденко. – М. : ЦНИИТЭИприборостроения, 1986. – 42 с. – (Приборы, средства автоматизации и системы управления. Экономика и технология приборостроения). – 60 к.
|
| |
|
