|
| 621.382 | | Г55 |
Глудкин, О. П.
Устройства и методы фотометрического контроля в технологии производства ИС [Текст] / О. П. Глудкин, А. Е. Густов. – М. : Радио и связь, 1981. – 112 с. : ил. – (Массовая б-ка инженера "Электроника"). – 105-108.
|
| УДК 621.382-181.48:535.24 |
| |
|
