|
| 621.382-181.48 | | К43 |
Киреев, В. Ю.
Формирование элементов мегабитовых ДОЗУ. Ч.3. Подготовка и влияние маскирующих покрытий (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980-1989 гг) [Текст] : обзоры по электронной технике. Вып. 1(1514) / В. Ю. Киреев, В. М. Фролов. – М. : ЦНИИ электроники, 1990. – 76 с. – (Микроэлектроника). – 3 р. 90 к.
|
| |
|
