|
| 621.382-181.48 | | З-13 |
Завадский, Г. И.
Физико-химические методы анализа в производстве интегральных схем ( по данным отечественной и зарубежной печати за 1967-1981 гг.) [Текст] : обзоры по электронной технике. Вып. 1(908) / Г. И. Завадский, А. Г. Кирилюк, А. А. Савенко. – М. : ЦНИИ "Электротехника", 1982. – 34 с. – (Управление качеством, метрология, стандартизация.).
|
| |
|
